機台用電管理、真空泵浦

行業別：電子零組件製造業

關鍵詞：空壓機(CDA)、烤箱

案例說明

每日依產量規劃運轉機台數量，無產能機台依停機時間長短執行utility 關閉管理。

製程烤箱設計溫度檢討下修。

改善前狀況

無產能機台進入會自動進入Idle模式：

(1) CDA 維持微量purge

(2) 加熱槽無降溫

(3) 真空泵浦持續運轉

(4) 紫外線燈持續開啟

若持續無產能需求會一直耗電，浪費。

改善後狀況

每日依產能規劃應運轉機台，無產能機台依停機時間長短關閉用電元件。

成效分析

檢討與實際驗證，生產溫度下修20℃。

統計各機台實施idle 節能管理成效，合計節省用電量11,479,224 度/年=11,479.2 仟度/年。
製程烤箱運轉溫度檢討：降溫運轉的機台高溫爐可下降8kW，共7 台實施。

一、運轉成本約可省下：

(11,479,224 kWh/年+20.8kW*7 台*24hr*61day)*1.86 元/kWh＝21,748 仟元/年。

二、抑抵二氧化碳排放量：

(11,479,224 kWh/年+20.8kW*7 台*24hr*61day)*0.637 CO2/kWh＝7,448 公噸/年。

真空泵浦Vacumm Pump介紹

真空泵是製造真空的一種機械裝置，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收，達到局部空間的相對真空。常見的真空泵有，往復式真空泵、水環泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。

真空泵浦的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型：氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。

氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空在進行抽氣的過程中，通常會經歷以下的階段:

大氣抽至中真空範圍，壓力隨時間之變化為自然對數的衰減，抽氣過程是非常的快速，時間極短。

而當從中度真空進入高真空範圍時，表面吸附性氣體的退吸決定壓力。

最後在高真空範圍時，表面吸附的氣體分子漸被抽盡。

真空泵浦的分類

依照抽氣方式不同，真空泵浦可歸類為以下幾個分類：

排氣式

正位移式幫浦（positive displacement type）
往復式幫浦
迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
動能式幫浦（kinetic energy type）
機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
流體（蒸氣）動能傳遞式(diffusion pump)

貯氣式

吸附式幫浦（surface adsorption type pump）
吸附幫浦（sorption pump）
結拖幫浦（getter pump）
冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump）
離子幫浦（ion pump)

選擇真空泵浦需瞭解的規格

抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
氣體選擇性：與幫浦操作原理相關
終極壓力(Ultimate Pressure)：
即幫浦能抽到的最低壓力，通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
排氣口的壓力
泵浦清潔度

文章