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機台用電管理、真空泵浦 1

機台用電管理、真空泵浦

行業別:電子零組件製造業

關鍵詞:空壓機(CDA)、烤箱

案例說明

每日依產量規劃運轉機台數量,無產能機台依停機時間長短執行utility 關閉管理。

製程烤箱設計溫度檢討下修。

改善前狀況

無產能機台進入會自動進入Idle模式:

(1) CDA 維持微量purge

(2) 加熱槽無降溫

(3) 真空泵浦持續運轉

(4) 紫外線燈持續開啟

若持續無產能需求會一直耗電,浪費。

改善後狀況

每日依產能規劃應運轉機台,無產能機台依停機時間長短關閉用電元件。

成效分析

檢討與實際驗證,生產溫度下修20℃。

統計各機台實施idle 節能管理成效,合計節省用電量11,479,224 度/年=11,479.2 仟度/年。
製程烤箱運轉溫度檢討:降溫運轉的機台高溫爐可下降8kW,共7 台實施。

一、運轉成本約可省下:

(11,479,224 kWh/年+20.8kW*7 台*24hr*61day)*1.86 元/kWh=21,748 仟元/年。

二、抑抵二氧化碳排放量:

(11,479,224 kWh/年+20.8kW*7 台*24hr*61day)*0.637 CO2/kWh=7,448 公噸/年。

真空泵浦Vacumm Pump介紹

真空泵是製造真空的一種機械裝置,它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收,達到局部空間的相對真空。常見的真空泵有,往復式真空泵、水環泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。

真空泵浦的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型:氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。

氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上,從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空在進行抽氣的過程中,通常會經歷以下的階段:

大氣抽至中真空範圍,壓力隨時間之變化為自然對數的衰減,抽氣過程是非常的快速,時間極短。

而當從中度真空進入高真空範圍時,表面吸附性氣體的退吸決定壓力。

最後在高真空範圍時,表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。

真空泵浦的分類

依照抽氣方式不同,真空泵浦可歸類為以下幾個分類:

排氣式

  • 正位移式幫浦(positive displacement type)
  • 往復式幫浦
  • 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
  • 動能式幫浦(kinetic energy type)
  • 機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
  • 流體(蒸氣)動能傳遞式(diffusion pump)

貯氣式

  • 吸附式幫浦(surface adsorption type pump)
  • 吸附幫浦(sorption pump)
  • 結拖幫浦(getter pump)
  • 冷凍幫浦(cryogenic pump,簡稱cryo pump)
  • 離子幫浦(ion pump)

選擇真空泵浦需瞭解的規格

  • 抽氣速率:即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
  • 氣體選擇性:與幫浦操作原理相關
  • 終極壓力(Ultimate Pressure):
  • 即幫浦能抽到的最低壓力,通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
  • 排氣口的壓力
  • 泵浦清潔度