真空泵浦（Vacuum Pump，也寫作真空幫浦）是把密閉或半密閉空間內的氣體抽出，讓壓力低於大氣壓的設備。真空廣泛用於乾燥、脫氣、蒸餾濃縮、真空成型、吸附固定與半導體製程。本文說明真空泵的原理、真空度的單位與範圍、常見種類比較，以及選型時要看的規格。 真空泵浦的原理 真空泵依抽氣方式，可分為兩大類： 氣體傳輸式（排氣式）：把氣體持續吸入、壓縮後排到大氣，例如水環式、旋片式、羅茨式、渦輪分子泵。工業上大多使用這一類。 氣體捕集式（貯氣式）：讓氣體分子被吸附或凝結在泵內表面，減少容器內的氣體分子而達到真空，例如冷凍泵、離子泵、吸附泵。主要用於高真空與超高真空。 從大氣壓開始抽氣時，一開始壓力下降很快；進入中、高真空後，容器內表面吸附的氣體（如水氣）會慢慢釋出，這時抽氣速度主要受這些釋出氣體影響，壓力下降會變慢。因此要達到越高的真空，所需的時間與設備等級也越高。 真空度的單位與範圍 常用單位換算 1…