真空泵浦Vacumm Pump介紹

真空泵是製造真空的一種機械裝置，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收，達到局部空間的相對真空。常見的真空泵有，往復式真空泵、水環泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。

真空泵浦的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型：氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。

氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

真空在進行抽氣的過程中，通常會經歷以下的階段:

大氣抽至中真空範圍，壓力隨時間之變化為自然對數的衰減，抽氣過程是非常的快速，時間極短。

而當從中度真空進入高真空範圍時，表面吸附性氣體的退吸決定壓力。

最後在高真空範圍時，表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。

真空泵浦的分類

依照抽氣方式不同，真空泵浦可歸類為以下幾個分類：

排氣式

• 正位移式幫浦（positive displacement type）
• 往復式幫浦
• 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
• 動能式幫浦（kinetic energy type）
• 機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
• 流體（蒸氣）動能傳遞式(diffusion pump)

貯氣式

• 吸附式幫浦（surface adsorption type pump）
• 吸附幫浦（sorption pump）
• 結拖幫浦（getter pump）
• 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump）
• 離子幫浦（ion pump)

選擇真空泵浦需瞭解的規格

• 抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
• 氣體選擇性：與幫浦操作原理相關
• 終極壓力(Ultimate Pressure)：
• 即幫浦能抽到的最低壓力，通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
• 排氣口的壓力
• 泵浦清潔度